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濺射靶材的不同工藝方法及特點
1、粉末燒結法
一般熱壓、真空熱壓、熱等靜壓等工藝會用到粉末燒結法。
?。?）特點：這種制備工藝具有容易獲得均勻細晶結構、節約原材料、生產效率高等特點。其關鍵在于需要選擇高純、超細粉末作為原料，選擇可以實現快速致密化的成形燒結技術，從而保證靶材的低孔隙率，并控制晶粒度。在制備的過程中需嚴格控制雜質元素的引入。
?。?）適合金屬：適合W、Mo、Ru等難溶性金屬和合金。
2、熔煉鑄造法
一般真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉等工藝會用到熔煉鑄造法。
（1）特點：熔煉鑄造法和粉末法相比，熔煉合金靶材的雜質含量，特別是氣體雜質含量低，而且能高密度化、大型化，但是對于熔點和密度相差都很大的金屬，熔煉法會難以獲得成分均勻的合金靶材。
?。?）適用金屬：適合AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好塑性的金屬。
3、擠壓工藝
一般熱擠壓、冷擠壓、溫擠壓等都會用到擠壓工藝。
?。?）特點：主要用于制備塑性好的金屬及合金旋轉靶材。
?。?）適用金屬：適合AI、Cu、Zn等塑性好的金屬。
4、等離子噴涂法
一般真空、水穩、氣穩等離子噴涂等工藝都會用到等離子噴涂法。
?。?）特點：可用于制備脆性金屬及合金、陶瓷靶材等旋轉靶材。
?。?）適用金屬：適合Cr、Si、氧化物等的旋轉靶材。
1、粉末燒結法
一般熱壓、真空熱壓、熱等靜壓等工藝會用到粉末燒結法。
?。?）特點：這種制備工藝具有容易獲得均勻細晶結構、節約原材料、生產效率高等特點。其關鍵在于需要選擇高純、超細粉末作為原料，選擇可以實現快速致密化的成形燒結技術，從而保證靶材的低孔隙率，并控制晶粒度。在制備的過程中需嚴格控制雜質元素的引入。
?。?）適合金屬：適合W、Mo、Ru等難溶性金屬和合金。
2、熔煉鑄造法
一般真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉等工藝會用到熔煉鑄造法。
（1）特點：熔煉鑄造法和粉末法相比，熔煉合金靶材的雜質含量，特別是氣體雜質含量低，而且能高密度化、大型化，但是對于熔點和密度相差都很大的金屬，熔煉法會難以獲得成分均勻的合金靶材。
?。?）適用金屬：適合AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好塑性的金屬。
3、擠壓工藝
一般熱擠壓、冷擠壓、溫擠壓等都會用到擠壓工藝。
?。?）特點：主要用于制備塑性好的金屬及合金旋轉靶材。
?。?）適用金屬：適合AI、Cu、Zn等塑性好的金屬。
4、等離子噴涂法
一般真空、水穩、氣穩等離子噴涂等工藝都會用到等離子噴涂法。
?。?）特點：可用于制備脆性金屬及合金、陶瓷靶材等旋轉靶材。
?。?）適用金屬：適合Cr、Si、氧化物等的旋轉靶材。
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