問題答疑
濺射靶材保養方法
1、濺射靶材維護
靶材維護能夠避免在靶材的濺射過程中，因為濺射靶材不干凈的腔體而導致出現短路或起弧現象，因此需要階段性地去除靶材濺射軌道中間和兩側的堆積物，有助于使用者能連續地以大功率密度進行濺射。
2、濺射靶材儲存
對于濺射靶材的儲存，盡量將其儲存在真空包裝中，特別是貼合濺射靶材，須在真空條件下儲存，避免出現貼合層氧化導致影響濺射靶材貼合質量。儲存金屬濺射靶材時，可以將其儲存在潔凈的塑料袋中，不過能真空包裝就盡量將其真空包裝儲存。
3、濺射靶材清潔
首先使用在丙酮中浸泡過的無絨軟布進行清潔，之后再使用酒精進行清潔，清潔完后使用去離子水對濺射靶材進行清洗，清洗完成后將濺射靶材放在烘箱中以100度的溫度烘干30分鐘，如果是陶瓷濺射靶材的話建議使用無絨布進行清洗。上述全部完成后，再用高壓低濕氣的氬氣對濺射靶材進行沖洗，清洗掉會在濺射系統中引起電弧的不純顆粒。
4、濺射靶材的短路和密封性查看
濺射靶材在安裝完成后要對整個陰極進行短路檢查和密封性檢查，一般是使用電阻儀搖表的形式對陰極進行檢查，判斷它是否存在短路現象，在確保陰極不存在短路現象后，再對它進行密封性檢查，將水通入陰極中來判斷是否存在漏水的現象。
5、濺射靶材的包裝和運輸
在濺射靶材的運輸過程中，盡量將靶材包裝在帶有防潮劑的真空密封袋中，之后使用木箱做為外包裝，并在其四周安裝防撞層，保護靶材和背板，防止靶材和背板在運輸儲存過程中損壞。
1、濺射靶材維護
靶材維護能夠避免在靶材的濺射過程中，因為濺射靶材不干凈的腔體而導致出現短路或起弧現象，因此需要階段性地去除靶材濺射軌道中間和兩側的堆積物，有助于使用者能連續地以大功率密度進行濺射。
2、濺射靶材儲存
對于濺射靶材的儲存，盡量將其儲存在真空包裝中，特別是貼合濺射靶材，須在真空條件下儲存，避免出現貼合層氧化導致影響濺射靶材貼合質量。儲存金屬濺射靶材時，可以將其儲存在潔凈的塑料袋中，不過能真空包裝就盡量將其真空包裝儲存。
3、濺射靶材清潔
首先使用在丙酮中浸泡過的無絨軟布進行清潔，之后再使用酒精進行清潔，清潔完后使用去離子水對濺射靶材進行清洗，清洗完成后將濺射靶材放在烘箱中以100度的溫度烘干30分鐘，如果是陶瓷濺射靶材的話建議使用無絨布進行清洗。上述全部完成后，再用高壓低濕氣的氬氣對濺射靶材進行沖洗，清洗掉會在濺射系統中引起電弧的不純顆粒。
4、濺射靶材的短路和密封性查看
濺射靶材在安裝完成后要對整個陰極進行短路檢查和密封性檢查，一般是使用電阻儀搖表的形式對陰極進行檢查，判斷它是否存在短路現象，在確保陰極不存在短路現象后，再對它進行密封性檢查，將水通入陰極中來判斷是否存在漏水的現象。
5、濺射靶材的包裝和運輸
在濺射靶材的運輸過程中，盡量將靶材包裝在帶有防潮劑的真空密封袋中，之后使用木箱做為外包裝，并在其四周安裝防撞層，保護靶材和背板，防止靶材和背板在運輸儲存過程中損壞。
- 上一個：靶材的制備要求及選用原則
- 下一個：半導體靶材是什么？種類有哪些？